מיקרוסקופ אלקטרונים סורק
שירותי המבדקה למיקרוסקופ האלקטרוני ניתנים 24 שעות ביממה.
במעבדת המכון מיקרוסקופ אלקטרונים סורק (SEM) מתוצרת JEOL אשר באמצעותו ניתן להבחין בפרטים זעירים ברזולוציה של עד 10 ננו. זאת, באמצעות יכולת הגדלה של עד X100,000 מהגודל המקורי. על גבי המיקרוסקופ גלאים שונים, המאפשרים לצוות המכון לבצע מיפויים פרקטוגרפיים של משטחי שבר וניתוח מנגנוני שבר.
באמצעות גלאי קרני האיקס מתבצעת דירפרסיה של קרני X ובאמצעותה מזוהה ההרכב הכימי של הדגם הנבדק, או באופן ממוקד, של אזורים ייעודיים על פניו (משקעים, שכבות ציפוי, מבנים חריגים וכו' ).
גלאי האלקטרונים המוחזרים מאפשר זיהוי של פאזות שונות בחומר הנבדק וכך לבצע בדיקה כימית ממוקדת על כל אזור ואזור.
מבט על פני שבר במיקרוסקופ אלקטרוני המכיל מזהם חריג
מה עקרון הפעולה של המיקרוסקופ הסורק?
מיקרוסקופ אלקטרונים סורק עושה שימוש בקרן מרוכזת של אלקטרונים באנרגיה גבוהה אשר נורית כלפי הדגם הנבדק בסביבה של ואקום גבוה. השליטה על קוטר הקרן ומיקומה מאפשר תצפית ובחינה של אזורים נבחרים על פני הדגם הנבדק. התוצאה של הפצצה זו היא אינפורמציה אלקטרונית אשר ממנה מחלצים מידע אנליטי מגוון.
במיקרוסקופ הפועל במכון מותקנים גלאים שנועדו לקלוט סוגים שונים של אינפורמציה, כתוצאה מפליטת הקרינה מהדגם המופצץ כמו, קרינת אלקטרונים משניים (SEI) , קרינת אלקטרונים מוחזרים (BSE) וקרינת איקס.
היישומים השונים:
- גלאי (SEI) - עוצמת הקרינה המתקבלת יחסית למבנה הטופוגרפי של פני השטח הנבדקים ועל-כן משמשים כאמצעי לסריקת משטחי שבר ועצמים. התפוקה הינה תמונה תלת ממדית של משטח שבר
- גלאי(BSE) - הקרינה המתקבלת יחסית למבנה הטופוגרפי או להרכב החומר בהתאם לשיטת הסופרפוזיציה של הקרניים הנאספות. התפוקה הינה תמונה המכילה מידע חזותי על מבנים בעלי הרכב כימי שונה בתוך הדגם הנבדק
- גלאי(EDS) - קרינת האיקס הנפלטת מהדגם מזהה את אורכי הגל השונים של הפוטונים המאפיינים את היסודות השונים אשר מרכיבים את החומר הנבדק. כך ניתן לזהות את הרכב חומר הבסיס של הדגם ועל גביו, הרכב מזהמים, משקעים וכדומה.